二手 VARIAN E11117551 #293639520 待售

VARIAN E11117551是一种创新的离子植入器和显示器，设计用于半导体制造应用。它能够为各种应用提供精确控制、统一和可重复的植入条件。E11117551可以针对任何植入过程和加载参数进行定制，从而为不同的材料植入物提供灵活性。它设计用于中、高剂量植入，为电流和剂量控制提供了高精度。该装置利用一个5 MHz的50 kHz自激发纳米脉冲电子源来获得确切的所需剂量，电流范围可以在0.7到10,000 μ A，能量可以在3到100 keV。植入物参数的夹紧是通过对光束电流、光束扩散和光束斑点大小的密切监测和精确控制来实现的。VARIAN E11117551有一个强大的真空室，带有两级液氮两级冷冻泵，可以快速清除该室。它还配备了一个负载锁，可以快速、方便地装载样品，同时保持更清洁、无污染的环境。该装置通过监测芯片速率、束电流、剂量分布和总离子剂量，具有在重载时保持性能的能力。联锁安全功能确保正确的安全操作,诊断监视器支持实时诊断。E11117551专为可重复、可靠的性能而设计,最大延迟为0.5isec。操作员可以利用其实时X射线监视器监控X射线位置。它还允许芯片速率控制，使用每秒操作的设定百分比来测量束电流和剂量。这可以防止植入中的剂量累积，提供可重复和均匀的剂量。该装置包含所有必要的辐射安全保护机制，并保护人员和设备，以便在工业环境中安全使用。其易于使用的图形用户界面使得VARIAN的操作E11117551简单，允许操作员监控、调整和执行植入会话，同时保持清晰简洁。E11117551具有广泛的特点，使其在半导体行业中脱颖而出。VARIAN E11117551从其精确控制和剂量测量功能,到其安全特性和终极保护,为您的所有半导体植入需求提供可靠且高性能的操作。