二手 VARIAN E17179550 #9002204 待售

VARIAN E17179550是一种最先进的离子植入器和显示器，旨在产生要植入到诸如半导体晶圆这样的基板中的离子。它配备了25 MHz的射频源、宽范围的加速电压（50至400 KV）和同位素分离系统。其先进的高分辨率法拉第杯监测能够精确控制和调整剂量率，通过整个晶片提供均匀的离子植入。E17179550还包括一个高通量、高质量的离子收集器，它能够准确测量光束大小和能量分布，以及有效的光束诊断。另一个重要特征是它的真空样品加热器，可以在植入前将晶片均匀加热到最佳温度。VARIAN E17179550具有很高的可靠性和热稳定性,具有较低的磁场耐受能力.这使得它特别适合生产具有一致结果的小批量或大批量植入物，从而提高基材产量，降低客户成本。它融入生产线很简单，单位需要极少的操作员干预才能进行适当的操作和维护。E17179550是一种可靠、高性能、精密的离子植入器和监控器，适用于半导体和光电行业的各种植入技术。