二手 VARIAN E19001300 #158850 待售

VARIAN E19001300是为半导体器件生产而设计的先进离子植入器和显示器。它能够产生高达20 kV的植入物能量和高达6.5 mA的电流容量，从而使离子束更重的掺杂成为可能。这种离子植入器和显示器提供了卓越的性能和控制，同时减少了设置时间，以处理均匀的掺杂层，有助于提高设备的产量和性能。E19001300专为高质量、均匀的离子注入而设计，具有广泛的光束能量、电流水平和角度扩展。它的数字信号允许本机控制光束参数，并最大限度地减少不受控制的高能光束造成的损害。设备配有可激活的anbuilt-in遮阳板，实时监控离子束，提供样品表面的完整视图，同时允许操作员在不牺牲工艺结果的情况下保持最佳光束控制。除了离子植入能力外，VARIAN E19001300还支持各种类型的化学分析和过程表征。这些功能包括植入样品的高级横截面分析、用于改进过程理解的元素映射,以及用于改进过程可重复性的自动化过程监控。通过这些特性，系统可以生成完整的自上而下和横截面的多路复用数据集，在原子层面揭示重要的器件特性。E19001300还提供易于使用的用户界面和过程控制软件。该单元包括一个可靠的子程序库，使用户能够快速回忆植入配方和参数以节省时间。为了促进现有生产线的高效集成，该机器包括一个综合安全工具、遥控操作和资产自我诊断。总之，VARIAN E19001300是一种可靠、功能强大的离子植入器和显示器，旨在确保设备生产的最佳质量和吞吐量。它提供对波束参数的高精度控制、自动化的过程监控以及易于使用的强大用户界面。该模型可靠性高，结果可靠，是高效制造设备的理想选择。