二手 VARIAN E19002370B #149061 待售

VARIAN E19002370B是一种用于工艺半导体器件制造的离子植入器和监控器.它是一种先进的工具，具有多种功能，可以精确调整、监测和控制离子植入过程。该单元的主要部件包括射频发生器、离子源、光束线、光学、扫描设备和环境控制单元（ECU）。高压发电机提供了在离子沿着光束线传播时加速离子所需的能量。位于束线末端的离子源被设计为产生一束具有所需能量和剂量的离子束。该扫描系统由运动阶段和控制电子设备组成，用于控制光束的偏转和位置。该光学器件用于优化光束进入基板之前的形状。最后，环境控制单元在植入过程中保持过程温度和压力。E19002370B还配备了监控单元，使操作员能够在植入过程中精确调整所有参数。它可以让他们设定光束的能量、气体压力、剂量率和扫描时间。此外，机器可以被编程来调整这些参数，这取决于被内爆基板的类型。该单元还配备了多参数监控工具，以确保成功植入，并提供有关过程的详细信息。该资产记录并显示各种参数，如电流密度、剂量、壁电流、束电流和束能量。此外，该单元可以远程操作，允许同时进行多次植入。VARIAN E19002370B是一种强大而精确的植入和监控工具，能够处理所有类型的硅片。通过提供对植入过程的精确控制和监控，确保了所有半导体器件的最高质量。