二手 VARIAN E19002442-2 #140342 待售

VARIAN E19002442-2是一个最先进的离子植入器和监控系统，能够以高精度和精确度进行植入和其他相关过程。它由一个源喷射器、源提取器、粒子束监测器、基板支架、肘室、低能量光束传输、光束台阶监测器和能量选择器组成，均由中央控制面板控制。源注射器用于向光束中注入离子。它由灯丝和电极组成。灯丝被用来产生正离子并将它们导入电极，可以调整以改变光束强度。源提取器有助于精确地从光束中提取离子，并过滤掉不需要的颗粒。粒子束监测器将离子引导到所需的位置，基板支架在植入过程中将基板保持在正确的位置。肘室是系统中的主腔室，具有可旋转的腔室，可以在保持远光束电流的同时精确操纵光束。低能光束传输是一种可以调整的光束传输系统，可以引导和控制光束的角度和入射角。能量选择器是用于精确设定植入离子能量的能量校准器。最后，采用束步监测仪测量离子注入的剂量沉积速率。所有这些组件都连接到中央控制面板,以完全控制离子植入器。E19002442-2非常适合各种植入过程，从低到高能量水平，从低到高剂量，从低到高温。它可靠易用，是高效、精确的离子植入的理想选择。