二手 VARIAN E19002442-2 #9037843 待售

VARIAN E19002442-2是一种最先进的离子植入器和监控器，设计用于将离子精确植入材料中，以便在半导体和微加工工业中得到大量应用。它是一种基于场发射离子源和串联光束线的自动化装置，具有四个完全可编程的分析和模拟室。植入过程采用电子控制，允许精密植入选定离子，无需人工干预。E19002442-2配有高分辨率离子光学系统，可在植入过程中精确控制离子束，确保离子准确植入目标深度。它还具有串联的光束线，用于监测离子注入过程。这包括一个光谱仪，一个碰撞滤波器，以及测量光束参数并允许在植入过程中进行自动分析和反馈的探测器。VARIAN E19002442-2能够植入大量含有1至8种元素的元素和鸡尾酒。它可以在0-4 keV的范围内产生广泛的植入能量，并能产生每秒1 × 1015至5 × 1018的剂量。它还具有精心设计的带有E-PROM的安全系统,该系统预先存储所有操作参数,并具有额外的保护措施以防止故障。E19002442-2提供高精度的离子注入，具有均匀的剂量分布、低电压加速度、精确的光束扫描和高精度的光束电流。该装置可用于硅植入基板的研发，以及MEMS和微光刻领域晶片的生产。它也被用于VLSI和ULSI微电子中芯片的批量生产。与行业标准植入器相比,VARIAN E19002442-2提供了更高的吞吐量,这要归功于其强大的数字系统。目前在世界范围内用于需要高精度离子植入的多种应用，包括制造高质量的集成电路、半导体晶片和其他微加工材料。