二手 VARIAN E19013590 #148786 待售

VARIAN E19013590是为半导体器件制造应用而设计的最先进的离子植入器和显示器。它结合了复杂的离子植入和监控技术，使经济高效，高性能的操作跨越了各种各样的应用。该设备采用了一种全新的一对一光束点监测技术，能够实时测量光束直径，提供可靠、可重复的结果。该系统配备了1000 x 1000 mm扫描区域和500 mm晶圆级，适合各种设备布局和处理时间。它包括一个400毫米低能离子源，用于产生所需的离子束，一个光学滤波器和一个光束监测器，以确保最佳的光束强度、扩散和传输。它还有一个集成的过程控制单元，带有一个反馈循环，允许用户在植入过程中调整过程参数。流程控制机还包括一系列可根据用户特定流程需求定制的预设模板。E19013590被设计为提供优化的质量和吞吐量在中高剂量离子植入物。它能够产生0.1到10keV的束剂量率，最大束能量为400keV。该工具能够同时掺杂多达20层，具有精确的光束剂量控制和高达每秒50脉冲的高能脉冲模式。它还具有一系列用于植入各种样本量和材料的样本支持适配器。此外,该设备还采用集成的锁定机制,防止意外的离子注入,并在遇到障碍物时强制遮挡光束,从而实现了高可靠性和高安全性。它还包括连续监测阳极温度、数字光束监测器和CPU温度监测系统，以确保安全可靠的运行。此外,该型号符合最新的安全标准,包括CE、ISO 13485和RoHS。总体而言,VARIAN E19013590是一款先进、高性能的离子植入器和显示器,为用户提供了一种经济高效且可靠的半导体器件制造过程解决方桉。其最先进的技术和安全特性确保了植入各种材料的可靠操作和质量结果。