二手 VARIAN E19013590 #9070880 待售

VARIAN E19013590是一种用于半导体器件制造的离子植入器和监控器。由于精度高、性能可靠、操作成本低，广泛应用于半导体行业。以高深度控制植入掺杂剂的能力而着称。E19013590设备包括离子植入器、光束减速器、监视器室和一组操纵器。离子植入器是一种高电流、低能量、可变能量的离子植入器。它能够在可调深度植入掺杂剂，从几百埃到几千埃。光束减速器用来减慢离子植入器中的离子，这样即使在较低的能量下也能获得更令人印象深刻的控制。监视器室允许在操作过程中测量条件离子，以便在需要时可以调整工艺条件。VARIAN E19013590配备精密操纵器,可在植入过程中精确控制晶圆。它还具有可选的静电卡盘,可提供额外的保护和位置精度。该系统能够提供均匀的剂量分布和良好的深度控制。剂量率是可调的，从0.5到50 dpa/s不等。该单元配备了广泛的真空和安全联锁装置，以及先进的诊断监控机器。它可以随时监视工具中的所有组件,以便能够识别和避免潜在的危险。此外，这项资产还附有多种配件，如各种来源、百叶窗、电极组件等。它还提供了与连接的气源的直接接口，允许快速的源变化。模型可以远程调整,所有必要的调整都是通过计算机进行的。总体而言,E19013590离子植入器和显示器提供准确、可靠、经济的半导体器件制造.它配备了一系列的安全联锁和诊断监控，其精密的配件使其成为强大的植入工具。