二手 VARIAN E220 / E500 #293767838 待售
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ID: 293767838
Part number / Description
E15000201 / Motion controller board
E15001670 / PCB, Gas flow control
D-E15001650 / PCB 24 Digital output
E15001660 / Gas flow control PWR/BTL Pressure
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Sub power supply controller
104434001 / PCB Gauss meter
E11000022 / Suppression power supply
E11001000 / Right ARM Servo controller
E11001000 / Left ARM Servo controller
E11038040 / Dual vaporize power supply
E15002350, D-E150023, E15002363 / PCB Subassy power supply controller
E17136530, E17094450 / Source housing
E19003380 / TREK E-clamp supply
E11001410 / Oriental controller
E11033360 / Gas box chassis
E11037750 / Manipulator for old gear type
E11037754 / Manipulator for new gear type
E11030500, E11120770 / Roplat drive assembly (ESC type)
E11050502 / Rotate sensor roplat cable
E11004140 / 60 KV Mirror power supply.
VARIAN E220/ E500离子植入器和监控器是一种高性能、多功能的半导体工业工具，用于实现晶圆表面的均匀掺杂。E220和E500模型都能够在250kV时植入离子,并提供从-55°C到150 °C的温度控制。该单元允许选择各种光束电流、强度和能量范围，并具有先进的光束控制设备和数字系统检测器，提供快速准确的光束调谐能力。使用先进的热电偶设计测量温度。E220/ E500装置装有离子源托盘和喷枪、真空PFC、气体溷合室和光束线准直仪。离子源托盘和枪允许选择最多三个离子源，并提供可调节的束电流、能量和脉冲间距。Vacuum PFC在单元中保持一致的真空，而Gas Mixing Chamber则允许将添加剂引入机器。"梁线准直器"允许用户准确选择梁的角度和形状。E220和E500型号还配备了一系列显示器，以帮助确保工具的稳定性和跟踪植入深度。系统采用离子电流监控器、集成离子监控器和离子轮廓监控器.离子电流监测器用于测量总离子电流和束电流，而集成离子监测器则允许测量平均离子通量。离子剖面监测仪测量植入离子的剖面。VARIAN E220/ E500单元配备了一系列安全功能，以确保操作员和设备的安全。这些功能包括钥匙锁资产、集成的机械门联锁开关、真空盖指示器、性能报警和紧急停止功能。总体而言，E220/ E500是一种高性能、多功能的工具，对于实现晶圆表面的均匀掺杂至关重要。该装置旨在提供可靠和稳定的环境，而各种监视器和安全功能确保工具在安全和最佳的条件下运行。
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