二手 VARIAN E220 #9069279 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9069279
优质的: 1999
Ion implanter
Soft Ver. Ver 12.2
Gas Box HP Gas Box
Auto Decel YES
Scan Post Scan Chamber
Scan Generator TERK Power Supply
Wafer Size 8 Inch
Wafer Clamp ESC
Cryo Pump Chamber - CTI
Load Lock Pump CTI Cryo Pump(CT250F)
Compressor 8500
Wafer Handler Standard Type
Main Monitor LCD
Exhaust Box Standard
Roplat Cable Standard Type
Source Head Bernas
Turbo Pumps:
Ion Source: Pfeiffer TMH101P
Analyzer: Pfeiffer TMH260
Beamline: Pfeiffer TPS301
Dry Pump:
Ion Source: Edwards iQDP80
Stage: Edwards iQDP40 + QMB250
Load Lock: Edwards iQDP80
Bas Bottle #1 PH3 - SDS
Bas Bottle #2 AsH3 - SDS
Bas Bottle #3 BF3 - High Pressure
Bas Bottle #4 Ar - High Pressure
Gas Interlock:
Leak Current
Exhaust
Gas 2nd High Pressure
Currently warehoused
1999 vintage.
VARIAN E220是一种离子植入器和监控设备，提供高精度的离子植入，为晶圆和基板创建多种植入型材。VARIAN E-220旨在提供一致的可靠性能,能够处理各种晶圆尺寸和基板。该系统有一个离子源，该离子源由具有延长使用寿命的六硼化LaB6枪组成。该枪悬浮在真空室中，由计算机控制的电源和电网调节器操作，以实现最佳的离子注入条件。该单元还包括互锁、压力传感器、数字电流表等离子植入监控组件，以确保准确、可重复的植入。E 220可精确控制植入剂量率和分析物大小,保证有效、准确的植入.该机器允许最多10个独立的腔室，能够应用从0.0005英寸到0.8英寸厚的植入轮廓。VARIAN E 220利用高压精密装置对离子种类进行注射和提取，导致离子均匀性高，离子植入能量扩散极低。E220还有许多安全联锁装置，包括但不限于在紧急情况下减小腔室压力，在电源故障时紧急关闭，以及检测门窗意外打开的腔室联锁工具。该资产还配备了粒子探测器，以提醒操作员注意存在的任何危险的、空气传播的污染物。该模型提供了一个用户友好的界面和广泛的警报，为用户提供便利和保护，包括状态警报、当前警报、运行结束警报、室警报、设备故障警报和序列警报。所有这些警报有助于确保安全和成功的植入过程。E-220提供出色的控制水平和准确性,同时提供出色的用户友好性和安全性。该系统提供精确、可重复的植入，能够处理各种晶圆尺寸和基板。该单元还能够提供长寿命组件，精确的植入控制，以及大量的安全联锁。这为用户提供了可靠、安全的植入机。
还没有评论