二手 VARIAN E220 #9237371 待售

VARIAN E220是一种先进的离子植入器和监测器，旨在将带电粒子的区域精确地沉积到半导体材料中，以改变其电性能。离子植入器用途广泛，可用于工业和研究环境中的多种应用。VARIAN E-220的主要机理是离子源，用于从气体或固体源产生稳定的带电粒子流。这根离子束再由一系列磁透镜和脉冲电源操纵和加速，这决定了光束粒子的强度和能量。然后将该光束定向并聚焦到目标材料或基板上，从而使带正电或负电的粒子精确沉积到目标材料中。E 220具有许多先进的监测和控制系统，以确保植入条件的一致性和准确性。这包括补偿光束电流变化的补偿系统、扫描样品区域以测量表面轮廓的扫描检测器以及设置光束强度和能量水平的控制系统。附加功能包括一个用于监测光束中粒子的原位分析系统，以及一个用于控制操作参数和数据记录的中央处理单元（CPU）。VARIAN E 220是一种高效可靠的工具，用于将离子植入到各种应用的基板上。它能够生产高精度植入物，可用于多种半导体工艺，如掺杂、活化、钝化薄膜等。监测系统提供了对植入物参数的更大控制，如剂量、能量和斑点大小，确保了一致的高质量结果。易用性和功能范围使E220成为工业和学术过程的理想选择。