二手 VARIAN E220 #9257302 待售
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ID: 9257302
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Ion implanters, 8"
Type: Medium current implanter
SEIKI STP-1000C Vacuum turbo I/S
SEIKI STP-300 ANA Turbo
SEIKI STP-1000 B/L Turbo
Vacuum rough I/S: EBARA 40 x 20
Stage: EBARA 50 x 20 UERR 6M
Load lock: EBARA A30W
Gas box: HP type
(4) Gas bottles:
PH3-s
AsH3-s
BF3
Busshing EHP type
Source head bernas
Arc power supply CPI
Mirror readback
Reducer: (2) Steps
Scan post scan chamber
Scan generator trek PS
Linear servo copley
Wafer clamp mechanical: 6 Points
Roplat: (Controller P/N:E11048880)
Tilter: (Controller P/N:E11048890)
Travelling faraday TVL
Main monitor flat-panel
Decel auto
HV Probe
Exhaust leak detect
Gas Interlock Unit
Interface PD
No vaporizer
1994 vintage.
VARIAN E220是由VARIAN Semiconductor Equipment Group制造的高级离子植入器和显示器。VARIAN E-220专为提高生产率和降低成本而设计,使半导体芯片制造商能够快速生产高性能、低功耗的设备。E 220植入物和监视器具有高质量的精密植入物，具有低噪音水平和均匀性，同时保持相对紧凑。VARIAN E 220具有两个独立的驱动系统，一个全双工离子源和一个高电流电子源，以达到最佳性能。这项技术使离子束和电子束都能植入芯片。此外，E220还利用易于使用的图形用户界面，对植入条件进行准确、实时的监控。E-220特征的束流范围可达25mA，电压范围可达950V，能量范围可达25keV，从而能够传递更大范围的离子。植入器还具有三电极配置、沉积监控器和可倾斜的自动基板屏蔽器，具有多达八级的基板保护。这使得离子和电子的精确传递不会过度渗透。VARIAN E220配备了先进的可编程传送系统，能够控制各种各样的变量，如总束电流、脉冲间的定时、传递的总剂量等。它还包括自动等离子体清洁器和预编程例程,这些例程允许更高的吞吐量率和提高生产率。此外,VARIAN E-220还具有预测性维护系统,旨在识别潜在的磨损区域,并对任何异常操作条件提供预警,从而提高其可靠性和正常运行时间。E 220是一种可靠、精确的离子植入器和显示器,非常适合需要高质量设备的生产环境。VARIAN E 220具有自动化和手动操作以及先进的安全和控制系统,为各种半导体芯片制造商提供了最高的精度和效率。
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