二手 VARIAN E220 #9262460 待售

VARIAN E220 Ion Implanter and Monitor是一种高性能设备,专为将硼或磷植入半导体晶片而设计。利用离子加速器设计的最新技术，提供了优良的工艺控制和精度。离子注入过程需要高功率、低压开关以及对光束强度和聚焦参数的精确控制。VARIAN E-220是一种完全可编程的模块化机器，有多种选择，包括能量选择设备和光束光栅。能量选择系统具有一个P2静电扫描单元，允许同时植入多个具有不同动能的高能离子或离子。光栅机可以让用户轻松调整光束参数，扫描晶片表面。光束参数可根据特定应用量身定制，如超浅接头植入物，或生育力低的离子。E 220还具有高分辨率PML500电荷耦合器件摄像头工具。该资产使用位置敏感检测器来精确监控离子植入过程。该相机可用于检测和诊断植入物轮廓的任何变化。E220的控制电子软件包是最先进的,它利用了多种软件参数,包括集成过程控制（IPC）模型。IPC设备提供了一整套监控离子植入过程的功能。该系统可用于自动控制加速度电压、光束强度、光束光栅或面积以及剂量率。VARIAN E 220还包括一个脉冲发生器单元和一个能量控制单元。脉冲发生器产生电压方波，该电压方波决定离子植入器的光束运行频率和总时间。能量控制单元提供对光束能量的精确控制，并确保光束能量在过程中保持恒定。总体而言,E-220离子植入器和监视器是一个强大而可靠的植入工具.它提供了出色的过程控制和精确度,以及确保检测和诊断植入物轮廓变化的功能。它是半导体的重要工具和离子加速器设计的最新技术。