二手 VARIAN E220 #9272647 待售

VARIAN E220离子植入器和监测器是一种高精度、最先进的工具，设计用于将掺杂剂植入半导体晶片并监测其植入。这台机器的设计具有成本效益，但坚固耐用，能够以均匀的速率和深度精确地监测和植入所需的基材中。VARIAN E-220具有可调的离子加速度和减速，为用户提供更精确的植入和监视器所需的最佳剂量均匀性。这台机器能够同时分析多达十六个晶片，并具有一个可调的离子植入器束，最大植入电流高达200mA，可变光束点尺寸高达直径4mm。E 220还具有确保晶圆放置和定向精度的样品跟踪器和表进料系统。它还有一个先进的发射反馈系统，用于精确的植入。VARIAN E 220具有集成的细胞内植入器（OCI），通过控制离子束电流和样品位置减速来优化植入深度。该OCI已被证明在整个晶片上提供均匀的掺杂浓度和剂量分布。这台机器还有一个OCI监视器，可以用两脉冲周期实时监测离子注入。E-220离子植入器和监控器被设计为能效高，资源的最佳利用。通过现场监测和控制植入物束电流，提高了过程控制，提高了生产产量。E220的数据采集和分析功能还提供了宝贵的数据,可用于提高可重复性和降低生产成本。