二手 VARIAN E22000022 #200565 待售

VARIAN E22000022是一种先进的离子植入器和监测器,专为多种半导体制造工艺而设计.它为电子应用提供了高效的掺杂和激活设备，同时允许实时密切监测过程。E22000022一个三轴16-MeV最小能量的重离子植入器，它具有一个运行结束的广播阵列和一个可选的伽马射线监视器。它配备了自动晶片加载系统和晶片真空加热器，用于晶片的快速装卸，同时保持清洁的环境。它还包括一个高精度电源，使它能够精确跟踪基板电阻率的变化，确保一个高度精确的植入物。此外，它的先进、高精度的轮廓监视器可以实时监测植入过程。机器的运行结束广播阵列允许详细分析基板的特性，包括浓度、激活区和阈值。它还包括集成的故障保护和内置的自我诊断系统,用于监视操作参数并向操作员发出任何潜在问题的警报。VARIAN E22000022还能够在非常低的温度下运行，允许植入具有极好的重复性的纤维层。E22000022是一种通用、高效、可靠的离子植入器和监控器。它提供了许多复杂的特性，使其成为半导体制造厂的宝贵资产。VARIAN E22000022凭借其高精度的控制、先进的监控系统和最终运行的广播阵列,真正成为制造先进电子元件的最佳工具之一。