二手 VARIAN E220HP #9237131 待售
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ID: 9237131
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Ion implanter, 8"
Terminal module / Gas cabinet:
Gas cylinder volume: 4 ltrs
No Ar (External / Internal)
AsH3 Cylinder type: High pressure
PH3 Cylinder type: SDS 2.25L
BF3 Cylinder type: High pressure 1L
Gas line purge
No dual vaporizer option
M-Chuck
Terminal module / Source:
Source head type: Bernus
Source bushing type: EHP
No source magnet polarity switch
No 2 steps reducer type option
Terminal module / Beam-line:
Scan generator: 20 kV
Mirror: 30 kV
Automatic graded decel relay & P/S
No hall probe option
Beam energy probe option
End station module:
Wafer handler platform type: Standard
Platen type: M-Clamp
Roplat & tilt type
Travel faraday type: TVL Faraday
No metal contamination reduction kit option
CVCF
Enclosure:
No video viewing of wafer loading
No three light signal tower
Smoke detectors
No water leak detectors
No service monitor
Accessories:
Source turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Analyzer turbo pump type: SEIKO STP-300C
Beam-line turbo pump type: SEIKO STP-1000C
Source rough pump type: EBARA 40x20
No beam line booster pump
Stage pump type: EBARA 50x20
L/L Pump type: EBARA A30W
Target cryo pump type: CTI-250
Load lock pump type: AISHIN GD263
Cryo compressor type: SUZUKI C300
Remote PD
Option: Beam drift monitor
System PC: 1 GHz
Spare parts:
Ion source head
Terminal insulator
1994 vintage.
VARIAN E220HP端站是一种最先进的离子植入器和监控器。它是一个先进的设备设计，以提供最大的光束电流和能量稳定。该系统的多用途主力军配备了尖端技术，以确保植入和监测植入物的深度、倾斜和均匀性的最佳效果。该装置由能效高的双波束加速器提供动力，能够以单波束或多波束模式运行。这允许更大的灵活性和更大的控制植入和剂量控制每一个应用。机器还配备了坚固的屏蔽组件，旨在减少来自加速器的辐射排放。该工具的这一特点确保了工作环境的安全，并且所产生的植入物的质量是最高的质量。为了监测植入物轮廓，该资产配备了高精度光束调谐模型，可以精确控制光束的位置和剂量分布。监测设备还可以测量植入物的不均匀性。它包括能够快速识别非统一区域并提供解决问题的解决方桉的软件。该系统还包括各种诊断工具，可用于进一步微调过程，确保植入物的质量和可靠性最高。该单元还配有一个用户友好的界面，允许操作员轻松管理整个植入过程。它的图形用户界面允许方便的导航，所有必要的设置可以通过几次点击来管理。这使得整个植入过程更加高效，减少了完成过程所需的时间。VARIAN E220 HP还被设计为提供最大的机器正常运行时间和可靠性。它有一个自我监控工具，可以在问题成为问题之前发现问题，并提醒操作员。该机器还具有自动维护协议和用户定义的维护例程,这有助于始终保持高效运行。E 220 HP是寻找高性能离子植入器和显示器的制造商的理想资产。凭借其最先进的特性、坚固的屏蔽组件和用户友好的界面，它在效率和可靠性方面都能提供尽可能高质量的植入物。
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