二手 VARIAN E220HP #9237387 待售
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ID: 9237387
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Ion implanter, 8"
Main components:
End station module
Terminal module
Services module
PC & Monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suppession PSU
Decel PSU
Enclosure
Signal tower & HV lights
Signal tower controller box
Exhaust leakage box
No remote PC & monitor
End station services module:
Right arm servo controller
Vacuum gauge controller
Scanning faraday controller
Platen tilt servo controller
Uniformity controller
Liner motor servo controller
Orienter controller
Left elevator controller
Right elevator controller
E-Chuck clamp PSU
Dose integrator controller
D.I. Temp monitor
Vertical lift orienter
No electric flood controller
No UPS
Terminal PSU & Assy:
Set-up faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 20Kv
Set-up faraday pre-amp
Vacuum gauge controller
Scan assy
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror PSU: 30 Kv
Source mag PSU
No 30 Kv scan generator
No Mirror 60 Kv PSU
Source head & gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
No vaporizer
No vaporizer PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000C Source turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-300 Resolve turbo pump
EDWARDS / SEIKO SEIKI STP-1000 End station cryo pump
CTI 250F Load / R cryo pump
CTI 4F Load / L cryo pump
CTI 4F Beam-line turbo pump
1995 vintage.
VARIAN E220HP是一种用于高精度植入和过程控制应用的离子植入器和显示器。它在高剂量率、精确光束参数、光源位置精度和更好的光束均匀性控制等几个方面提供了优异的性能。VARIAN E220 HP的设计目的是提供高达80μA/cm2的高剂量率.离子源具有可调节的光斑大小,可以在1.2到3.2mm之间进行更改。梁的均匀性提供了精确的梁参数,提高了结果的精度和可靠性。包括一个高度敏感的位置反馈设备,用于精确定位光束和强度剖面。监视器包括一个自动化的两步监视器,用于测量和控制光束均匀性和轮廓参数。该监视器可进行调整,以满足不同的沉积要求,并保持光束可重复性,± 0.5%。它还使用户能够预置配置文件,其高级控制设置可以提高颗粒浓度和均匀性。E 220 HP还有一个过程控制系统,可以随着技术的改进而安全校准。该装置经常为每次植入操作捕获和存储过程数据,这有助于确保准确性和可追踪性。可以访问此数据以调查流程差异或提供关键的流程控制文档。除了先进的控制功能外,E220HP还安装了多种安全措施。它具有广泛的报警功能,如泵、风扇或能量监测报警,确保对操作员和周围环境的最佳保护。总之,E220 HP是一款先进且可靠的离子植入器和显示器,为用户提供卓越的性能。VARIAN E 220 HP的高剂量率、精确的光束参数、光束的精确定位、先进的工艺控制机等都是VARIAN E 220 HP植入和工艺控制应用的重要选择。
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