二手 VARIAN E220HP #9279486 待售
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已售出
ID: 9279486
优质的: 1995
Medium current ion implanter
Platen (Mechnical), 6"
Roplat
Tilter: Vertical type
Gas box type: 4 Gas high press
1995 vintage.
VARIAN E220HP是半导体制造过程中使用的离子植入器和监控器。它是一种革命性的设备,当与高压气源结合使用时,能够快速而精确地将各种植入离子植入基板。VARIAN E220 HP包括一个用于精确测量植入离子的监视器和一个可以精确放置离子的对准系统。E 220 HP具有电子轰击(EB)源,它提供了用植入离子轰击基板表面的能量。可以调整这一能级,以达到所需的离子浓度和能级,允许对植入的离子进行严格控制。此外,还可以使用先进的激光对准系统实时监控整个系统。这使得植入器能够快速准确地使离子与基板表面对齐,从而增加对植入过程的控制程度。VARIAN E 220 HP采用二次发射技术,以确保在将离子植入基板时具有一致和可靠的光束。该技术为离子植入器提供均匀的离子束,确保植入的离子均匀分布在目标表面上。此外,E220 HP提供了多种不同的植入策略,可用于进一步完善植入的离子。这些策略的范围从雪崩去核到速调管加速,并为特定的植入目的提供了一系列的能力。最后,E220HP利用高速处理器可以同时运行多个植入序列,允许并行植入多个基质。该处理器还允许植入器达到高达500 msec的超高植入速度。此外,它还能够存储大量数据,从而便于在植入图和结果上对数据进行召回和自动分析。总体而言,VARIAN E220HP是一种功能强大且用途广泛的离子植入器和监控器,可增强半导体制造过程中的控制和准确性。通过提供高水平的定制和并联植入,VARIAN E220 HP确保所有底物都能准确、均匀地植入所需的离子,从而获得优异的效果。凭借其高处理速度和数据存储能力,这种离子植入器和监控器是半导体行业中一个非常宝贵的工具。
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