二手 VARIAN E31000130 #293671705 待售

VARIAN E31000130是一种高性能的离子植入器和显示器，为先进的基板表面处理提供了卓越的精度和可靠性。该装置结合了双光束扫描设备、先进的控制软件和具有高精度剂量测量系统的可移动离子源，允许在整个植入过程中对动态植入参数进行可靠、可重复的控制。E31000130集成高级反馈传感器以测量植入离子的位置、能量和数量,以确保精确控制参数以获得最佳工艺结果。该装置有一个双光束扫描单元，以便对基板表面处理进行快速准确的图像采集和剂量监测。这台机器由强大、精确的激光驱动离子光学器件组成，具有可调、高精度的扫描角度，能够精确控制光束的方向和剂量。激光的紧密控制扫描角度确保了离子在底物表面的最佳分布，以实现最佳的均匀剂量调节。此外，双光束扫描工具允许快速和精确地评估基板的表面积。VARIAN E31000130允许在离子植入过程中完全控制参数。这包括对离子束电荷、电压、每个脉冲的离子数、扫描范围、剂量率和束电流等参数的可靠控制。其ProScan Active过程监控资产使用户可以通过对束位置、电荷和剂量率状态的实时反馈轻松调整离子注入周期。这样可以快速、可靠和准确地控制植入参数,从而获得理想的效果。该模型还集成了一系列强大的反馈传感器，用于测量植入离子的位置、能量和数量。通过将现场值与用户给出的在线数据库和值进行比较，设备可以控制所有植入参数，达到所需的离子密度和均匀性。这个反馈系统还让用户在任何给定时刻不断地了解剂量和光束位置。总体而言，E31000130是一个可靠和强大的设备，用于精确的离子植入和监测应用。该设备的双光束扫描单元和集成反馈传感器为基板表面处理提供了卓越的精度和可靠性。此外，它的可调离子束参数和主动过程监测机允许用户精确控制所有植入参数，以获得最佳的过程结果。