二手 VARIAN E500 EHPI #293801765 待售

VARIAN E500 EHPI是一种离子植入器和监测器，用于控制带电粒子并将其植入半导体基板。植入器用于多个行业，包括半导体生产和包装、航空航天和国防、通信、汽车、医疗设备制造。E500 EHPI利用直流电（DC）离子源将带电粒子植入基板。离子植入器能够提供广泛的能量，从最小10 kV到最大100 kV。此外，该机器允许精确的光束控制，精度高达10微米（1/100毫米）。VARIAN E500 EHPI中的电气部件被封装在可互换的模块化外壳中,使维护、维修和服务变得简单明了。全自动设备配有一系列机械和数字元件，如导线盘、加热器传感器、质子探测器、温度监测器和电子反向散射探测器。E500 EHPI设计简单易用,具有直观的编程和显示菜单。VARIAN E500 EHPI可以配置各种硬件和软件选项,例如光束电流监视器和粒子源监视器。这使得它非常适合诸如将各种材料植入不同厚度的基材等应用。该系统还能够收集粒子光谱，可用于进一步分析。安全是E500 EHPI的一个关键要素，有周边灯和紧急停止开关，还有一个互锁的腔室门，在腔室门打开时阻止单元运行。此外，该机器还配备了真空泄漏探测器、辐射屏蔽装置和离子束监测器。VARIAN E500 EHPI符合所有必要的安全法规,包括射频和ESD辐射安全标准。总之,E500 EHPI是一种可靠、功能强大的离子植入器和监测器.它可以配置各种硬件和软件选项，操作简单方便。此外,它还具有多种安全功能,使其成为广泛应用的安全选择。