二手 VARIAN E500 HP #9142688 待售

VARIAN E500 HP
ID: 9142688
晶圆大小: 8"
Medium current ion implanter, 8".
VARIAN E500 HP是一种高性能的离子植入器和显示器,旨在为植入离子提供卓越的精度和均匀性。这种植入技术被用于制造广泛的半导体和显示技术。该设备配备了英特尔64位架构和一系列现代控制系统等高级功能。VARIAN E500HP能够为晶圆提供从10 nA到5 mA的各种电流水平。这使得系统可以量身定制以满足特定的植入需求。这种植入器的高精度是由于其优越的光束电流稳定性。这种稳定性提供了对光束电流在时间上的精细和精确的控制,最小化任何电流方差并导致更均匀的最终结果。加上制造商的16位分辨率,E-500HP在离子注入的水平上提供了非凡的精确度。这种精确度也通过一些其他特性而提高,例如单位使用十通道模数转换器在纳秒时间尺度上测量束电流的能力,从而产生极精确的读数。E-500 HP还能够在整个植入过程中监控机器,使用户能够调整离子植入器参数以满足特定要求。这是通过许多高级实现实现的,包括能够访问工具内存参数和从同一用户界面监视资产。这允许用户在植入过程中查看和调整各种设置。VARIAN E-500HP也是为安全而设计的,具有专用的系统和功能,以增强用户的安全和保护。这包括一套全面的安全联锁装置,在设备不安全的情况下防止设备进入。E500HP还设计了温度传感器,用于监视植入过程中的环境温度,如果温度超过安全水平,该传感器将自动关闭。E500 HP植入器是一个强大而可靠的模型,能够提供准确和精确的离子植入。它具有高精度的光束电流稳定性、16位分辨率和先进的监控能力等特点,所有这些都保证了最佳性能和安全性。
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