二手 VARIAN E500 HP #9220342 待售
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VARIAN E500 HP是由VARIAN Semiconductor Equipment Group, Inc.设计和生产的离子植入器和显示器设备。该系统用于集成电路的设计和制造。它是一种高度可靠、高效和精确的装置,用于将离子植入具有受控能量沉积的晶片中。VARIAN E500HP是一种多功能机器,可用于低能量和中能量植入。该工具包含一个用于离子生成和离子束分析的低功率离子源。资产还有几个先进的组件,如图形用户界面、快速响应光束控制模型、高分辨率数码相机、紧凑型光束监视器和强大的架空设备扫描仪。图形用户界面提供对光束参数和晶圆方向的直接控制,以及多层离子植入。离子束进入系统时转化为电流分布,这是用光束控制单元实现的。本机具有动态控制能力,确保准确、均匀的电流分布,同时还提供实时监控。此外,数码相机还可实时显示光束轮廓和电流分布,提供精确植入。紧凑型波束监测器提供可靠的数据收集和监测,从而改进了过程监测,提高了均匀性的准确性。该工具还配备了高架晶圆扫描仪,用于超高速扫描和图样的不间断操作。此外,E-500HP的设计使其能够在广泛的材料和植入条件下工作,使其成为各种植入应用的理想选择。VARIAN E-500HP的特点使其成为制造行业的宝贵工具。它提供了一致、可预测和可重现的结果,这对于芯片的成功和经济生产至关重要。这一资产还可用于生产不同类型的层状材料,以及清理颗粒和污染。此外,该模型还被设计为最大限度地减少溅射损伤,这会导致由于长时间暴露于高能离子而对底物造成损害。总体而言,E500 HP是一种先进高效的设备,为各种应用提供精确的离子植入和监测。它具有创新的功能和组件,可提供卓越的控制和统一性,同时显着降低生产时间和成本。
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