二手 VARIAN E500 HP #9230820 待售

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ID: 9230820
优质的: 1996
Medium current ion implanter Process gases : BF3, PH3, AsH3 Scrubber: Vector technology Chamber cryo pump: 250F Beamline turbo pump: STP-1000C Beamline dry pump: DPA-943492 Beamline turbo pump: STP-1000C L/L Cryo pump: 100 Cryo pump 9600 Compressor Power supply: 208 VAC, 3 Phase, 5 Wires, 42.3 kVA 1996 vintage.
VARIAN E500 HP是一种高端离子植入器和显示器。它用于将离子植入和/或监测半导体材料中,用于制造电子元件。VARIAN E500HP以100kV能量分辨率的形式提供高性能精确度,同时对剂量率输出进行了高度可靠的稳定,从而实现了卓越的植入过程。内置的HP监视器还提供了对正影响植入过程的参数的分析和跟踪,如剂量率、能量扩散和生成离子的镜面。E-500HP为用户提供了多种选择,允许用户定制设备以满足特定需求。集成的自动化控制系统允许用户定制单元,以达到最优的植入参数,即使在极端的操作条件下也是如此。这台机器提供易于学习和直观的图形驱动的用户界面工具,以及直观的树状视图数据显示,可以进行更有效的植入分析。VARIAN E 500 HP为最佳植入控制提供了光束源功率的选择,包括单轴、双轴和4轴光束源。先进的热管理技术帮助用户最大限度地发挥受控光束源的潜力,同时确保光束功率水平一致。可选的粒子传输工具为半导体元件的高通量生产提供了可靠和可重复的产量。它还允许改进植入物符合行业标准。E 500 HP配备了全自动原位端点检测资产。该模型的设计目的是检测植入过程的结束具有高度的精确度。该设备确保植入VARIAN E-500 HP的所有组件均符合最高质量和可靠性标准。除了设备本身的高性能外,用户还可以利用一系列旨在最大限度地提高生产力的配件。这包括用于自动加载和卸载晶片的晶片处理机器人,可提高吞吐量并消除晶片的手动处理。其他附件包括用于在腔室内精确放置晶片的夹具,以及确保正确执行过程的锁定系统。E500HP为用户提供了先进的离子植入系统。该设备具有易于使用的界面、直观的树显示、自动化控制和可靠的现场端点检测功能,提供了一种经济高效、可靠的精密离子植入和监控方法。结合各种配件,VARIAN E-500HP提供了多种选择,以确保最佳的植入过程。
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