二手 VARIAN E500 HP #9262461 待售

VARIAN E500 HP是一种离子植入器和监测器，具有多种特性，使其成为理想的植入应用解决方桉。该装置采用创新技术，提供准确可靠的离子植入。它具有大的光束电流和大的光束尺寸集，允许更均匀的植入。此外，VARIAN E500HP通过其高精度的可变电流和磁场控制提供精确控制，从而实现更好的过程控制和提高器件产量。光束电流可以精确设置为20mA，使E-500HP适合于注入硅、砷、碳、氙等材料。大梁组保证了高产均匀性和减少表面污染。另外，E 500 HP提供了一个光束消隐系统，确保无颗粒植入。离子监控器是可定制的，并提供精确的植入控制和连续的过程监测。VARIAN E-500HP有一系列光束输送系统，以满足各种植入需求。这些系统允许快速光束定位和反馈,以实现可靠的过程。利用高速、可变电流能力实现光束调制，从而实现更好的控制和定位。该装置具有可变强度的弯曲通道磁体，非常适合在植入过程中提高均匀性和去除样品污染。E-500 HP还具有若干安全系统和警报功能,以实现最佳保护。这些安全系统包括对加工室和设备部件进行主动监测，并在发生故障时自动关闭。此外,还包括一个电弧故障检测系统,以快速检测和熄灭任何潜在的电弧.E500 HP是一种强大而可靠的离子植入器，可用于各种植入应用。其先进的特点提供了准确可靠的工艺，提高了设备产量，同时其安全系统确保了最佳工艺安全。此外，它的光束输送系统确保了光束的快速定位和反馈，创造了一个可靠、稳健的植入过程。