二手 VARIAN E500 #293625917 待售

VARIAN E500是一种用于半导体制造的高精度离子植入器和监控器。它采用双加速器工艺，光束功率从10kW到30kW不等。加速粒子束经过电子调节和高度可靠，使用户能够准确控制每个植入物的剂量、能量和轮廓。这种先进的离子植入物用途广泛，可用于从高掺杂到次阈值植入物的植入物。VARIAN E 500还包括可靠的光束监视器和现场诊断,以帮助确保用户从设备中获得最佳性能。在硬件方面，E-500是由不锈钢构成的全真空室的真空密封系统。上部单元包括离子源、提取组件和高精度四轴调制器。该调制器对于确保光束精确聚焦和定向至关重要。下部是样品级所在的位置,带有XY运动表以实现样品的精确定位。机器还设有扫描仪组件，用于控制进入样品室的离子束。这个扫描组件有多达四个电偏转线圈来偏转光束，这使得精度下降到亚微米分辨率。此外，VARIAN E-500还有一个实验控制子系统，它提供自动参数设置、配置文件优化和数据采集。在软件方面,该工具运行基于Microsoft Windows的操作资产,从而确保可靠的性能。软件为用户提供了设置灵活性，能够参数化光束和监视腔室条件。它还具有数据分析能力，显示每种植入物的剂量和能量。在安全性方面，车型配备了水冷离子源，防止了设备中离子的堆积，确保了E 500的安全运行。总之，E500是一种功能强大、可靠的离子植入器和监控器，即使是最苛刻的也能处理。它提供精确的光束控制、原位诊断和自动数据采集，使用户能够优化植入过程。设备和软件的结合确保用户从系统中获得最佳性能,同时保持安全和高效。