二手 VARIAN E500 #9024963 待售

VARIAN E500离子植入器是来自VARIAN半导体设备的高性能离子植入设备。它旨在为各种应用提供高通量、准确、均匀的剂量和能量分布。该系统利用最新的质量聚焦磁体技术进行可靠的波束脉冲长度控制，并利用先进的数字目标电源进行精确的能量控制。该单元可从14"扩展到30"，配有全方位的配件，最大限度地提高吞吐量。VARIAN E 500利用热灯丝离子源获得最大的光束电流,即使在低能量下也是如此.电子压缩机允许非常快的束脉冲，能够在不牺牲通量的情况下精细控制剂量水平。利用静电透镜机进一步增强光束控制，优化光束形状和位置。在法拉第杯中使用电子探测器对光束进行监控，这样就不需要外部静电计了。E-500由两个子系统组成：植入工具和subfab监视器。植入资产包括石英室、离子源、加速管和真空系统，以及质量聚焦模型。监视器使用专门设计的基板支架牢固地固定基板，并使用剂量控制单元调节植入过程。光束电源和光束电流监测器可以准确控制剂量和能量水平。E 500专为高批量生产硅和III-V材料而设计，最大剂量率超过400 A/cm2/秒。该设备提供了广泛的植入参数，并且可以根据各种材料量身定制，提供无与伦比的准确性和均匀性。VARIAN E-500可以处理高达12英寸的晶片,并利用高性能的源到目标距离控制进行精确的效率控制。E500监控系统提供精确的植入监控和均匀性控制，确保产品质量最高。实时显示精确的光束和剂量电流读数，便于过程监测和调整。高级诊断和过程监视工具（如Live-View和OD-View显示屏允许快速轻松地诊断设备故障。VARIAN E500是来自VARIAN Semiconductor Equipment的先进、用户友好的离子植入机。VARIAN E 500凭借其可靠的光束控制、精确的剂量和能量控制以及高性能的生产能力，是半导体材料大批量制造和均匀性控制的理想选择。