二手 VARIAN E500 #9229634 待售

VARIAN E500是半导体工业中使用的多功能离子植入器和监控器，提供高精度、高速度和高精度。它能够将离子植入能量从0.1 MeV到90 MeV的多种底物中。VARIAN E 500利用先进的光束扫描设备，以及智能光学技术，提供对剂量、均匀性和剂量率的增强控制。这项技术还使人们能够使用离子种类，例如硼、磷、砷和：其他。E-500系统易于使用，为外延硅、基板活化、硅化以及表面钝化、掺杂等其他材料植入应用等半导体器件制造关键工艺提供了高度可靠的平台。E500离子植入器和监控器设计为在各种真空系统中高效运行。它的模块化设计使用户能够选择一个包含元素的真空单元，用于选择的过程。这样可以确保一致的过程控制和准确性。E 500机还支持智能真空技术，对达到超高压力的腔室条件和高效驾驶能力提供持续监控。VARIAN E-500包括一个先进的管理和控制工具,可提高产量、提高可靠性和提高过程控制效率。VARIAN E500具有用户友好的界面,允许用户快速准确地创建和修改流程配方。该资产还包括一个通用的图形用户界面，允许用户快速可视化和编辑植入配方。该模型还允许用户使用实时数据跟踪和分析植入结果。除了广泛的流程功能外,VARIAN E 500还包括多种内置诊断工具,用于快速诊断可能出现的任何问题。这些诊断工具旨在快速识别设备的问题和故障,并能够更快地纠正或纠正措施。总体而言，E-500是一种可靠和坚固的离子植入器和监控器，它提供了增强的将离子和其他材料植入各种基材的工艺能力。该系统设计方便操作，性能可靠准确，同时采用智能光学技术实现精确剂量控制和均匀性。E500还支持智能监控功能,使用户能够轻松创建和修改植入配方,实时监控植入性能,并快速高效地排除任何潜在问题。