二手 VARIAN EHP-500 #9005445 待售
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ID: 9005445
Ion Implanter, 8"
Software Version : V12.15 rev D
Wafer Clamp: e-clamp
Gas Box: HP type
Gas 1: BF3 HP
Gas 2: Ph3 HP
Gas 3: AsH3 HP
Gas 4: Ar HP
Main monitor: CRT touch screen
Service monitor: CRT touch screen
Traveling Faraday Type TVL New style
Auto Decel: Yes
Source head: Bernas
Hall probe: Gauss probe
Pumps:
Source Turbo Pump – Seiko Seiki STP-1000C
Beamline Turbo Pump – Both Seiko Seiki STP-1000C & STP-300
Endstation Cryo Pump
Chamber – V-250
Load Lock – V-300
Source Dry Pump – Edwards IQDP-80
Endstation Dry Pump – Edwards QDP-80
Differential Seals – IQDP80 + Blower
Cryo Compressor - 9600
Installed, can be demonstrated
1997 vintage.
VARIAN EHP-500离子植入器是一个精密工程，高度先进，集成设备设计的现代植入物工程和物理思想。对于需要将离子植入底物的研究人员和工业工程师来说，它是一种经济高效的工具。使用VARIAN EHP500，你可以在植入过程中获得非常精确的离子电流、剂量率和其他参数的植入、监测和控制。EHP 500由一个产生稳定离子束的源和一个离子光学系统组成，以所需的深度和正确的角度引导它。它配备了一个光束电流控制单元，以确保和精确调节测量范围内的电流。该机设有一个残留气体分析仪，用于测量残留气体散布的总离子电流以及在该过程中任何时候都可以监测的其他参数。VARIAN EHP 500除了具有用于数据监控的集成计算机接口外,还配备了能够控制和设置各种参数的软件。该软件包括历史记录、剂量率和电流密度控制等功能，以及脉冲宽度调制和集成命令控制。EHP500与各种离子源和底物兼容，包括应变和松弛的通道离子、通道和规则硅离子植入、光致抗蚀剂和衬底结构，以及p型和外延底物。该工具还具有广泛的植入介质,包括Si、Ge、C、Sn和CO。EHP-500既方便用户又方便操作员。它采用人体工程学设计，以减少操作员疲劳，直观的界面有助于提高效率。资产也令人难以置信的稳健；它可以处理各种条件，包括高温，并且能抵抗机械冲击和振动。VARIAN EHP-500是一种前沿、通用、准确的植入模型，可靠易用。它非常适合在研究和工业中广泛的离子植入应用。这是理想的选择，任何人谁需要一个强大的，高性能的离子植入器和显示器。
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