二手 VARIAN EHP-500 #9142690 待售

VARIAN EHP-500离子植入器是一种多功能、可靠的离子植入设备，具有将高电流离子安全准确地植入半导体和硅片的能力。该系统配备了最先进的高压装置，能够达到40 kV的最大电压，为各种基材上的离子注入提供了充分的灵活性。处理高达200 keV的颗粒的能力允许植入不同的材料，同时仍然能够确保高度准确的结果。植入室设计用于处理电离源的插入，其中大部分可以就地进行，从而使基材的吞吐量更快、效率更高。此外，该腔室设计用于处理高达10-4 Torr的超压，使其适合干式和湿式将离子引入晶片。VARIAN EHP500的设计可容纳广泛的基材，由导电、耐腐蚀和防辐射材料制成。与植入室一起，EHP 500安装了一个精密的离子监测器，能够监测植入过程中的一系列参数。这包括光束电流、光束位置、光束对准、离子动能、基板距离、基板温度和掺杂浓度。该监视器还能够实时和植入后数据记录，使操作员能够快速准确地分析和调整植入参数。此外，EHP500拥有一个图形用户界面，允许操作员通过图形屏幕目视控制每个植入过程。例如，操作员可以在几秒钟内直接从监视器调整光束对准、离子能量、基板距离和其他参数。用户界面使植入物能够快速周转，也便于测量植入后的参数，如泄漏电流和连接深度表征，确保只交付最高质量的植入样品。最后，EHP-500配备了二次电喷雾单元，能够产生一个电场，快速将离子移动到植入室中，从而在低速移动基板时允许高度均匀和可重现的结果。这个先进的单元适用于所有类型的植入，如涉及低剂量和高压的植入。总之，VARIAN EHP 500是一种可靠、用途广泛、精度高的离子植入机，能够植入各种基质中。先进的监视器和用户界面使植入过程的操作变得简单，而先进的电喷雾装置则确保准确甚至植入到每个样品中。