二手 VARIAN EHP-500 #9181387 待售
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ID: 9181387
Medium current ion implanter, 8"
E-Chuck
Main components:
End station module
Services module
PC / Monitor
LCD Monitor
Controllers
Vertical lift orienter
Vacuum gauge
Uniformity
Left elevator
DI Temp monitor
Terminal module
Remote PC and monitor
Accel column
Accel stack
Accel PSU & tray
Accel suspension PSU
Enclosure
Signal tower & HV
Exhaust leakage box
Signal tower cont box
End station services module controllers:
Left arm servo
Right arm servo
Vacuum gauge
Scan faraday
Platen tilt servo
Vertical lift orienter
Uniformity
Liner motor servo
Orienter
Left elevator
Right elevator
Dose intergator
DI Temp monitor
E Clamp PSU
UPS
Terminal PSU's and assy:
Faraday cup assy
Extraction manipulator
Motion controller
Swing out arm decel
Relay arm decel assy
Set-up mirror assy
Neutral dump assy
Anal beam dump assy
Source mag assy
Anal mag assy
Quad mag assy
Lens mag assy
Scan controller
Scan generator: 30kV
Set-up faraday pre amp
Vacuum gauge cont
Scan assy
Quad 1 mag PSU
Quad 2 mag PSU
Analyzer PSU
Extraction PSU
Lens PSU
Suppression PSU
Mirror 60kV PSU
Source mag PSU
Source head and gas cabinet:
Source head
Arc PSU
Filament PSU
Gas module:
(2) AsH3: SDS
PH3: SDS
(3) BF3: SDS
(4) Ar: Diss, CGA 580
Vacuum system:
Make Model Description
EDWARDS 1003C Source turbo pump
VARIAN V300HT Resolve turbo pump
EDWARDS 1003C Beamline turbo pump
CTI On-Board 10 Endstation cryo pump
CTI 9600 Cryo compressor
VARIAN V300HT Load / L turbo pump
VARIAN V300HT Load / L cryo pump
EBARA 50X20 Endstation dry pump
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Additional parts / Spares:
CCTV: ESC Type
1998 vintage.
VARIAN EHP-500是一种先进的离子植入和监测设备，设计用于处理各种材料和离子物种，范围广泛。该系统基于多能量、多离子集成控制平台，非常适合半导体器件制造、纳米技术、物理气相沉积、薄膜沉积、离子束测图、医学物理等领域的应用。该装置的主要特点是植入精度高，均匀性控制，颗粒污染和散射事件低。VARIAN EHP500使用高精度的六极离子源，可以赋予广泛的能量、角度和功率。这一特性允许以接近零的低效率和均匀性进行精确的离子植入。该机还包括先进的控制工具，允许用户精确控制加速电位、光束强度、位置精度、光束聚焦等参数。EHP 500还具有集成光束监控资产,可以更好地概述和控制流程。光束监测器利用各种探测器，包括法拉第杯、电离室和一系列数字探测器。该模型还提供了广泛的可编程功能，如针对某些离子的自动束消隐、工艺步骤启动和自动无效。设备可以安装在各种工作环境中,包括清洁室、控制室和需要额外安全性的远程位置。EHP500的用户友好界面和先进诊断技术使其成为研究和行业应用的理想选择。VARIAN EHP 500还用于执行更复杂的监测任务，如深度剖析、损伤评估、PID分析和光束转向。这些任务可以在自动模式或逐步模式下执行，并提供实时反馈，以更好的过程控制和优化。综上所述，EHP-500是一种先进的离子植入和监测系统，旨在对各种材料和离子物种进行高度准确、均匀和清洁的植入。该单元由高度精确的六极离子源、集成光束监测机和各种可编程功能组成，为各种应用提供了极大的灵活性和提高的精度。
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