二手 VARIAN EHP-500 #9215996 待售
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ID: 9215996
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Medium current ion implanter, 8"
Mirror 60 Kv PSu: E110002
Gas box configuration:
Gas box type: SDS
Gas line 1 = PH3
Gas line 2 = AsH3
Gas line 3 = BF3
Gas line 4 = Ar
Pumps configuration:
VARIAN V300HT Resolver turbo pump
Endstation CRYOPUMP CTI on-board 10
CTI 9600 Compressor
Loadlock turbo pump VARIAN V300HT
EBARA Endstation dry pump: 50 x 20
EDWARDS QDP80 Terminal dry pump
Electrical facility requirements
208 V, 3 Phase, 5 wire 43.2 KVA 120 FLA
200A Main CB 42,000 AIC 60 Hz
75A Maximum single load
250kV Maximum beam energy
1998 vintage.
VARIAN EHP-500是一种高精度的离子植入器和监控器。这种重型仪器使用离子源、高压电源、抽取器、扫描磁铁、偏转器组件、法拉第杯和光束监视器。离子源产生高能离子，然后由高压电源加速至所需能量。这种能量随后被提取器优化，这是一种用于控制离子束的磁性组件。扫描磁体是用于控制和扫描离子束的组件，而偏转器组件则用于塑造离子束的轨迹。接下来，光束通过法拉第杯，测量光束的强度。最后，离子束通过光束监视器，对光束的电流、电压和能量提供反馈。该仪器具有控制、监测和塑造离子束的能力，是高精度离子注入和监测的理想选择。
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