二手 VARIAN EHP-500 #9315482 待售

VARIAN EHP-500离子植入器和监视器是一种高性能的离子植入器和监视器，具有广泛的功能。它旨在提供高精度的植入和精密的过程控制在低和高占位周期。VARIAN EHP500可以配置为独立植入器或过程控制单元,从而实现最大性能和灵活性。EHP 500利用了许多先进技术，包括高分辨率数字离子能谱仪和数字质谱仪，用于快速、准确地测量植入的离子种类和剂量。该系统还具有高保真粒子匹配引擎，使用户能够快速高效地优化植入过程，以获得最佳的均匀性和精确度。EHP-500还具有先进的离子光学功能和广泛的动态范围（WDR）控制，能够植入可变光束扫描的均匀性和精度。VARIAN EHP 500采用了许多先进的自动化功能,为植入和过程控制提供了高精度。该系统采用可编程的高压/低压发电机和高速自动调速模块进行变速植入。高功率、紧凑的离子源允许以较高的位置精度以较高的速率注入低能离子。EHP500还提供晶片的精密植入后清洁。VARIAN EHP-500系统还提供各种监测功能，包括远程监测过程及其参数的能力，以及提供关于植入过程的实时反馈。高级集成数据记录器进一步增强了此监控功能,该记录器记录与植入过程相关的所有过程参数和结果。然后,可以通过以太网界面远程访问和分析这些数据,也可以通过可选的用户界面远程监视这些数据。总体而言,VARIAN EHP500 Ion Implanter and Monitor是一款高性能的离子植入器和监视器,为用户提供最大程度的过程控制、精度和灵活性。它集成了先进的离子光学功能、广泛的动态范围控制以及先进的集成数据记录器，以实现最佳性能和最佳植入效果。