二手 VARIAN / GENUS 1510 / 1520 #9228263 待售

GENUS 1510和1520是用于离子植入和监测到基质中的装置。它们设计用于半导体和纳米技术制造过程。1510提供了精确植入基板的聚焦离子束，而1520则是用于测量植入光束参数的离子虹吸式监测器，以确保最高水平的重复性和准确性。VARIAN 1510具有双阴极技术，允许对基板中的两个阳极中的每一个进行独立控制，以及离子在整个表面的均匀分布。这确保了整个过程中均匀一致的植入。其一些主要特点包括提高光束精度的自动对准光束对准系统、不同基板的可调植入物能量和加快基板加工的调整过程时间。另一方面，1520离子监测器具有灵敏可靠的离子闸，可以精确测量植入光束的离子电流和离子通量速率。这有助于确保工艺的准确性，对于实现高质量的半导体器件至关重要。1520也可用于测量植入物的整体正负通量、峰峰厚度和离子质量。最后，VARIAN/GENUS 1510和1520是半导体和纳米技术行业离子植入和过程监测的基本工具。其精确、准确和可重复的操作确保了能够以最小的努力制造高质量的设备。由于这些原因,它们是任何工艺工程师工具包的重要组成部分。