二手 VARIAN / GENUS G1510 / G1520 #9209306 待售

GENUS G1510和G1520是设计用于半导体制造的高级离子植入器和监测器。它们在植入各种离子植入过程中提供了优异的性能和可靠性。该G1510是一个130 keV的双离子源植入器和显示器设计的高通量和可重复掺杂速率。它包括一个无油的陶瓷衬里真空室，为控制离子污染提供高水平的真空。宽光束和聚焦光束这两个离子源提供均匀的能量分布，从而可以更快的循环时间和更好的掺杂物控制。该G1520是一个三源120 keV离子植入器和显示器，旨在满足高端半导体应用的需求。其高分辨率光电源提供了选择性地植入多达三种不同掺杂剂的灵活性。这样可以优化植入物的剂量和能量。此外，该G1520在各种植入参数上提供了极好的稳定性和准确性，使其成为关键掺杂剂应用的理想解决方桉。G1510和G1520都具有可选的计算机监控系统,允许用户管理和记录计算机上的植入参数。该系统还支持通过安全网络远程控制和监控植入过程。除了提供出色的离子植入能力外，G1510和G1520还提供各种工艺选择，如定制植入窗、双能量植入、可变时间植入物和delta-dosimetry。这允许用户根据自己的特定应用需求定制植入过程。G1510和G1520还提供市场上最全面的安全包之一。这两台机器都配有安全联锁开关，在打开安全盖时会禁用系统，并符合安全标准EN 291、EN292和EN 60204。总体而言,VARIAN G1510和G1520是先进的离子植入器和显示器,可为各种半导体制造应用提供卓越的性能和可靠性。