二手 VARIAN / GENUS G1510 #9011839 待售

VARIAN/GENUS G1510是一种离子植入器和监控器，为离子植入提供突破性的能力。它是一种高端设备，用于生产和监测离子植入过程。GENUS G1510是为提高离子植入吞吐量而设计的，同时保持了准确性和可重复性。它提供了一个精确的光束电流控制设备，准确性和可重复性。该设备还包括用于优化植入过程的高级光束诊断系统。VARIAN G 1510专为低污染的高通量而设计。它提供三种波束线配置,用于产生低、中、高电流。这允许针对不同的应用实现高度特定的光束。该设备与提供可编程过程控制的GENUS自动化控制和监控单元集成在一起。该机包括用于梁优化的刀具能源管理软件包。该资产还为全面了解蚀刻过程提供了强大的数据采集和分析模型。VARIAN/GENUS G 1510具有两个集成的波束线管理系统。第一台设备指挥和监控光束方向和能量，第二台设备管理植入物种的加速和充电。这样可以进行高度精确的植入和监测。该装置包括一个先进的腔室设计和设计在极端条件下运行。高温不锈钢腔室保证了植入过程的安全准确进行。G 1510还提供了全面的植入套件。该套件包括软件和硬件软件包,允许自动控制、监视和分析植入过程。该软件包括易于操作的图形用户界面,并包括一项特殊功能,可在流程不合格时自动发出警报。总体而言，GENUS G 1510是一种高度可靠和高效的离子植入器和监控器，具有精确和可重复性。它具有先进的设计功能和自动化的控制和监控功能,是高吞吐量和准确植入的理想选择。