二手 VARIAN HC Disk for VIISion #9220932 待售

VARIAN HC Disk for VIISion是一种离子植入器和显示器,旨在提高过程控制的准确性和吞吐量。HC磁盘是与VIISion套工具兼容的晶圆处理系统，如高电流和超高电流植入器、串联沉积系统、沉积设备等。它为现场定制所有植入物和植入物后参数提供了一个坚固、易于使用的界面。HC磁盘的使用使工艺工程师能够更精确地控制植入条件和参数，从而提高植入过程的产量和质量。开放架构允许用户将HC磁盘与任何硬件和软件集成，提供与现有系统和设备的理想兼容性。它简单的设计是建立在一个两件式的环上，允许容易互换的零件。HC磁盘将离子束传递和晶圆表示合并为一个单元。它具有广泛的运动控制技术，包括动态扫描、固定扫描和3轴倾斜。动态扫描可以控制光束的端点、剂量和方向,而固定扫描则可以快速、精确地控制植入参数。3轴倾斜提供了晶圆平整度和对齐的优越控制。HC磁盘还具有专利的推式连接,允许快速、轻松地连接可植入磁盘。HC磁盘可轻松处理各种植入参数和晶圆尺寸。它还可以容纳多种植入物来源，如晶体和薄膜。HC磁盘与洁净室兼容,可清晰、精确地显示植入过程参数。HC磁盘由一套高级工具支持,包括3 D可视化软件、用于模拟的离线软件和各种系统级监控工具。其集成支持系统允许用户监控和管理植入过程，以及调整任何关键参数。集成软件还支持远程控制，提供从任何位置远程访问整个植入过程。HC Disk for VIISion是一款功能强大、灵活的离子植入器和显示器,旨在最大程度地实现过程控制并减少停机时间。它易于操作、坚固的开放式体系结构和广泛的自动化功能使其成为任何植入过程的理想选择。