二手 VARIAN SD-700 #9294166 待售

VARIAN SD-700是一种离子植入器和监控器,专为半导体研究和生产而设计.它基于VARIAN现有SD-600系列系统的高度灵活的平台，但在研究和生产离子植入方面采用了广泛的新方法。SD-700采用了一种新开发的离子偏转器技术,使得各种物种的光束控制和均匀植入在一个通道中,从而确保生产产量和研究精确度达到最大化。该设备还进行了一些改进，以减少总体周期时间和成本。与所有VARIAN系统一样,VARIAN SD-700的设计着眼于环境。它是一种环保设备，噪音水平最低，排放低。SD-700具有先进的光束扫描和分析能力，使系统能够准确监测和控制离子剂量。这样可以确保使用该单元生产的设备质量卓越。为了进一步提高设备的均匀性和缩短加工时间，该机采用了专利DynamX™技术，可以在不影响离子植入物参数的情况下即时调节光束条件。该工具采用模块化设置,非常适合浅、深、超浅和超深的应用。此外,VARIAN SD-700还具有自动光束快门、机器人晶圆处理和高分辨率扫描控制功能,可实现最大精度。对于无与伦比的柔韧性和对嵌入式通量的控制，资产包括高速气体过滤模型。简而言之，SD-700是一种高度先进的离子植入器和监控设备，能够在半导体行业进行研究和生产。其现代化的平台，方便的用户界面和灵活的设计提供了多种选择，当涉及到确保最高质量的植入物。