二手 VARIAN Solion+ #9130269 待售

VARIAN Solion+是为精密控制离子束植入物而设计的最先进的离子植入和监测设备。它由晶片处理器、植入器和监控器、光束操纵系统、RF-DC溷合分离器和目标/电子枪组成。晶片处理程序包括一个电动机构，用于在平面和平面外移动多个晶片。植入器包括一个高强度、多模式的离子源、一个精密的聚焦单元，以及各种离子物种植入的广泛的辅助元件。该监视器包括一台先进的波束轮廓监视机，具有实时视觉反馈和控制功能。光束操纵工具包括用于位置和能量扫描的强大控制资产，以及用于精确控制植入条件的各种光束操纵元件。RF-DC溷合式分离器具有较高的分辨率，可用于正负离子注入，电压范围和分离器电压范围。目标/电子枪模型允许对所需的离子植入物剖面进行最佳分析。Solion+提供了高度的控制和灵活性，允许用户为每个独特的应用定制自己的离子植入条件。可以调整电压、电流、光束能量、光束光斑大小、光束强度、光束位置等参数，以微调植入物轮廓。设备还提供内置的安全功能,如过压保护和备用电源,以确保安全运行。总之，VARIAN Solion+是一个强大的离子植入物和监控系统，为精确的植入物调节提供了优越的控制和灵活性。凭借其精密的光束操纵单元、RF-DC溷合分离器和目标/电子枪，Solion+提供了广泛的选项来定制任何应用的植入条件。