二手 VARIAN VIISion 200 #9230197 待售

VARIAN VIISion 200是一款高性能离子植入器和监控设备，旨在最大限度地提高植入器的吞吐量和准确性。这种尖端工具可用于多种应用，包括掺杂剂植入、小离子植入、门阵列植入、超浅接头植入和基板去除。VIISion 200利用先进的技术特点，在植入过程中提供了卓越的精度和精确度。其植入监测功能旨在通过监测剂量、范围和线性等工艺参数为用户提供最佳植入剖面。该系统还包含一个高度敏感的离子束偏转单元，通过比较内部束轮廓和所需束轮廓来补偿自身的运动。这确保离子保持在适当的对准和能量范围内；最终实现更好的植入精度和更高的寿命性能。VARIAN VIISion 200配备了异常精确的矩形角准直仪，通过提供精确的控制帮助最大限度地提高产量。光束还包括两种反向传播技术，这种技术允许两个离子被引导到两侧，从而实现更有效的植入。而且VIISion 200由二次电子抑制机组成，有助于减少污染，而其倾斜角度调节的离子源使使用者可以改变光束的入射角。在工具控制方面,VARIAN VIISion 200与功能强大的数字控制器集成在一起,并采用用户友好的接口设计。这使用户可以方便地配置资产以适应特定类型的植入物，同时控制诸如束电流、束能量、基板温度等参数。此外，该型号还配备了一套全面的安全功能，以确保设备的安全运行。总体而言，VIISion 200是一个强大而可靠的离子植入和监测系统，旨在提高植入效率。凭借其先进的技术,VARIAN VIISion 200提供了卓越的精度和精确度,使其成为寻求精确植入层的半导体行业专业人士的理想选择。