二手 VARIAN VIISion 80 #9039543 待售
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ID: 9039543
High current ion implanter, 6"
Safe Gas Delivery System
Cryo, fourth implant chamber
SECS II automation
Two dimensional beam profiler
Angled implant, automatic
Classic End Station
Includes:
+7 to -7 degree wafer tilt angle.
Plasma flood gun.
Horizontal wafer handling.
Full system automation.
Operator touch screen.
Tungsten Bernas ion source.
Silicon coated disc and spillover cup.
3 light signal tower
Source and beamline turbo pumps removed, but they’re both inside the tool
Controller for the beamline pump is removed, but it’s inside the enclosure
Currently the disk and spindle are removed, but all the parts are present for it
Converted to 150mm in 2011
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一款适用于中高电流生产的高性能离子植入器和实时监视器。它能够将多达80mA的电流植入到细腻的基板中，同时对过程进行准确的在线监测。专家工程确保了低能耗和高电流的可靠和可重复的熟练程度。它被设计为一个全晶体系统，能够实现稳健的目标优化，以支持各种层次的复杂性。这允许用户微调生产过程，确保生产力和产品质量之间的完美平衡。此外,植入器还配备了多级监视器,使用户能够在处理过程中跟踪离子范围、轮廓和光束发射。VIISion 80的特点是有专利的HDG（高清枪），使用超短的内爆时间和目标组织的空间控制。HDG作为高清处理器,将能量、剂量和空间控制结合在一起,提供本质上准确且可重复的剂量。此外，其多种植入物组合使其成为一种经常改变基材要求的通用工具，其可磨损密封技术提高了长期加工过程中的光束稳定性。它的设计光学测量各个方向的离子。然后，利用低角度和高角度信号测量，系统可以在任意角度重建剂量法。这种实时剂量法提供了更高的控制和精度，同时最大限度地减少了调整工艺参数所需的时间。此外,VARIAN VIISion 80还配备了几个传感器,用于监视光束电流、粒子轨迹、静电透镜和空间电荷。监控系统还具有直观的图形界面，因此用户可以快速选择设置，并可以访问易于使用的诊断指南。VIISion 80是医疗、汽车、电子和半导体行业的理想选择,因为它提供高效的生产和严格的质量控制。归根结底,它有助于降低成本,并为寻求可靠且一致的离子植入器以满足其生产需求的公司提供安心。
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