二手 VARIAN VIISion 80 #9039557 待售

VARIAN VIISion 80是一种用于半导体和微电子生产的高能、高通量离子植入器。它设计用于必须严格和准确地控制离子的植入剂量、能量和流度的应用。VIISion 80使各种材料的离子植入具有各种光束配置，具有极好的均匀性和可重复性。VARIAN VIISion 80利用四极管、平行电子枪和分束阴极装置，提供高达80kW的离子注入能量。该枪以5-200 kV的中性能量运行，并提供最大15mA束电流。该枪能够输送2至254 amu的离子，能量范围100 keV至最大80kV。离子束光斑大小可配置在0.3-1.0mm之间。该设备具有高容量电源模块，可提供可靠、可重复和高度精确的植入能力。它还提供了用户可定制的植入物配置文件，允许优化的离子植入物操作。该系统包括扫描光束电流控制,可实现可重复、均匀的植入效果.VIISion 80还具有独特的监控单元，允许测量和控制背景电流、腔室性能、光束电流和植入物均匀性。这种监控机器对于确保高精度、可重复的植入操作至关重要。监视器工具提供了许多自我诊断功能,可以提醒操作员注意任何异常或错误。最后,VARIAN VIISion 80的设计考虑到安全性,它具有安全互锁资产,可阻断对高压组件的访问,并具有接地连接,以确保充分的电气安全。该模型还包含几个硬件和软件组件,这些组件旨在确保可靠的操作并降低受伤风险。总之，VIISion 80是一种高度精确的离子植入器，能够在广泛的能量范围内输送离子，并利用独特的监测设备来确保可重复、均匀的植入物操作。该系统设计为操作简单，但高度可靠和安全。VARIAN VIISion 80以其最先进的电源，非常适合半导体和微电子生产。