二手 VARIAN VIISion 80 #9065690 待售
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ID: 9065690
High current ion implanter, 8"
Enhanced End Station
Includes:
Software version: Ver 5.00.00
Gas box: HP Gas box
Turbo pump:
Ion source (1800A)
E/S: V300HT
(2) Beamline: V1001
Dry pump:
Terminal: Edwards iQDP80
Chamber: iQDP80
Gas bottle #1: Ph3 - SDS
Gas bottle #2: AsH3 - SDS
Gas bottle #3: BF3 - High pressure
Gas bottle #4: Ar - High pressure
W/H: N6
Software: Memory upgrade
LEB Kit: Yes
DISC: Hook site
Cryo pump: (4) 250F CTI
Load lock pump: V300HT
Compressor: CTI 8500
Wafer handler: Enhancement type
Main monitor: LCD
Exhaust box: Duct box
Source head: Bernas
Filter +/- 7ª
Exhaust
Signal tower
Currently de-installed and stored in warehouse
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一款高性能的离子植入器和显示器，旨在为半导体器件的制造提供优越的效果。该设备采用先进的光束系统，提供精确和可重复的剂量控制。VIISion 80能够以高频率和高精度将离子植入硅片。它包括多种功能,允许用户快速调整各种流程的参数。VARIAN VIISion 80是围绕高分辨率成像单元构建的,该成像单元具有极好的可重复性,能够达到6 σ精度。成像机具有较高的动态范围，可在各种应用中实现高度精确的离子束控制。此外，该工具还能够对各种半导体器件进行广泛的频率操作。VIISion 80具有强大而高效的光束传送资产,可进行多种植入。它可以高速植入离子，精度和可重复性都很好。该模型利用动态范围的离子能量，以确保适当的离子植入正确的位置。VARIAN VIISion 80包括一个先进的、高度敏感的监测设备，可以准确监测光束和掺杂参数。该系统可以分析植入率、剂量率、束角、晶圆角等数据。监控单元还可以检测到低级基板损坏，允许用户对任何关键的过程问题快速做出反应。VIISion 80还具有先进的数据处理和分析机器,可实现高精度和控制。它包括高级统计数据分析功能,并允许用户快速调整各种流程的参数。此外，VARIAN VIISion 80还包括用于计算植入剂量的高级软件，允许更精确的植入。VIISion 80是成功实现先进半导体电子的强大且经济高效的解决方桉。其高度精确的成像、光束传递和监控系统使其能够提供精密植入物，并有出色的效果。其通用的数据处理和分析工具使其成为任何半导体制造工艺的绝佳选择。
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