二手 VARIAN VIISion 80 #9108723 待售

VARIAN VIISion 80是一种技术先进的离子植入器和监控设备,旨在提高效率和生产力。它用途广泛,易于适应多种应用,包括高通量生产、中剂量设备以及规格和产量要求极其严格的低剂量设备。该系统的设计允许同时植入和监测，光束电流高达2000微安，能量范围为12-300keV。该装置采用高压发电机和植入式放大器，具有300 kHz的显着扫描速率，能够高速、高精度地输送离子。设计良好的光束快门允许快速启动和关闭周期,从而减少了调整和操作所需的时间。VIISion 80有一个25级的虚拟质量滤波器，提供精确的能量选择和各种电荷补偿植入物和气体植入物的轮廓。针对目标精度，该机设计了位置、形状、电压、时间变化等几个参数。精确的光束成像是通过结合半导体相机使用多场光学工具实现的。单柱成像光学器件还可以方便地调整光束路径，以达到最佳聚焦，并适应不同的晶圆尺寸和表面。VARIAN VIISion 80还提供高级资产监控和诊断。通过测量光束电压、电流和温度，模型可以提供植入物轮廓的详细反馈，必要时进行调整。自动化控制设备可实现对系统的远程控制,从而提高流程的可扩展性和灵活性。最后，该机包含了多种保护人员和设备的安全特性。总体而言，VIISion 80是一个高度先进和高效的离子植入器和监控单元。它的高性能和精确度在广泛的应用中不可或缺，从高通量生产到规格极为严密的低剂量设备。此外，其先进的监控机器和安全特性使其成为保护人员和设备的理想选择。