二手 VARIAN VIISion 80 #9181390 待售
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ID: 9181390
Ion implanter, 8"
Vacuum pump:
Terminal dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
Chamber dry pump type: terminal, Edwards iQDP80
L/L dry pump type: V300HT
Gas system:
Gas / Connection Type
Gas channel #1: AsH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #2: PH3 gas SDS, 3.4L high pressure
Gas channel #3: Ar gas high pressure, 3.4L high pressure
Gas channel #4: BF3 gas high pressure, 3.4L high pressure
PFG gas: Xe gas CGA580
Utility:
Supply type: bottom
Compressor: CTI 8500
Wafer handler: enhancement type
Main monitor: LCD
Exhaust: duct box
Source head: Bernas
Tilter +/- 7 degrees, signal tower
Missing parts:
L/L chamber turbo pump
Elevator3 digital I/O PCB
(4) Chamber cryo pumps
Disk assy
Source turbo controller
E/S controller CPU boards
Source turbo pump
1995 vintage.
VARIAN VIISion 80是一种离子植入器和监测器，设计用于生产电离材料和监测离子植入过程。它是一种工具，用于处理从普通半导体材料到先进复合半导体等多种应用所设计的广泛的掺杂型材。此外,VIISion 80还提供了无与伦比的吞吐率、精度和精确度,以实现最佳的离子植入过程控制.VARIAN VIISion 80由两个独立的组件组成：离子束发生器和控制台。离子束发生器是一种低损耗、高可靠性、低噪声和低振动的离子源，使离子植入过程极为可靠。这个离子源能够产生一个近乎连续的离子束，这些离子束足够稳定，能够精确控制植入物。控制台是植入器的指挥控制中心，负责控制、监控和执行植入过程。它由一个直观的图形用户界面（GUI）和可编程逻辑控制器（PLC）组成，使用户能够控制植入参数，监控植入过程，并存储结果以备日后审查。VIISion 80通过最先进的制造技术和精密的仪器为用户提供了最大的工艺控制。为了保证植入的最高质量和准确性，VARIAN VIISion 80采用了多源技术，提高了光束稳定性和植入剂量的无与伦比的准确性和可重复性。多源技术还提高了源的寿命，提高了整个过程的可靠性。VIISion 80还提供了出色的离子植入选择性，允许微调掺杂型材，具有广泛的掺杂制度。这为用户提供了前所未有的灵活性和对植入过程的控制。VARIAN VIISion 80还能够输送最大光束电流高达3.5A的大电流光束。此外，控制台的接口允许对波束电流和电压电平进行实时控制。总之，VIISion 80是一种先进的离子植入器和显示器，旨在提供无与伦比的精度和可重复性的最大的过程控制和准确性。VARIAN VIISion 80提供多源技术和大电流光束输送等功能,可确保植入过程的最大灵活性和控制。此外,直观的控制台界面可以方便的植入控制,监控和审查.
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