二手 VARIAN VIISion 80 #9212872 待售
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已售出
ID: 9212872
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Ion implantation system, 8"
Vacuum pump
EDWARDS iQDP80 Terminal dry pump type
EDWARDS iQDP40+QMB250 Chamber dry pump type
VARIAN tri scroll pump L/L dry pump type
STP1000 Beam line turbopump#1
STP1000 Beam line turbopump#2
VARIAN V250 L/L turbopump
(4) CTI, 250F Process chamber cryopumps
(2) CTI, 9600 Cryopump compressors
Gas system / Gas / MFC Type
Gas channel#1 / AsH3 Gas / SDS
Gas channel#2 / PH3 Gas / SDS
Gas channel#3 / Ar Gas / High pressure
Gas channel#4 / BF3 Gas / High pressure
PFG gas / Xe Gas / High pressure
Memory upgrade
CVCF option
Wafer size: 200mm
Main CB: 90 Amps
CVCF CB: 50 Amps
Auto disc angle motor
Host used, SECS
Source head type: Dual bernas
Faraday system: Magnet bias, PFG
Throughput(WPH): N6
Disc site type: Hook site, 13Sites
Elevator type: Modified 26
Lower slide pin
Laser align kit: No
W/H align kit: No
Utility
Supply type: Bottom
Remote pallet
Power: 208 Vac 3 Phase 5 wire, 50/60Hz, 35 kVA
Water: 40~100psi
Air: 90~125psi
PN2: 50~100psi
GN2: 50~100psi
Exhaust: 1600cfm
1997 vintage.
VARIAN VIISion 80是一种高端离子植入器和监控器，能够对集成电路和其他半导体器件进行离子植入和监测。它旨在提供更高的精确度和性能，当涉及到植入离子，允许用户达到精确的掺杂浓度和所需的表面轮廓上模具。VIISion 80的先进技术和直观的用户界面使甚至没有经验的工作人员能够立即了解设备，使他们能够快速改变设置，以适应不同的基板。VARIAN VIISion 80具有一系列令人印象深刻的精确度和安全特性,可提高离子植入的准确性、安全性和效率。离子源提供均匀的高能离子模式，确保每个晶片都有一致的植入物，而自动剂量计则根据需要监测和调整光束强度。VIISion 80还配有两区光学校准系统，确保基板的精确冲击。最后,该装置先进的电子监测机确保了准确的植入.该工具包含许多组件和功能，使其能够承受离子植入的严酷。它能够将离子传输至20keV，光束可扩散至20mm，植入性能不会明显下降。该资产的石英光学窗是针对极端环境条件而开发的，其真空室压力范围巨大。模型中的多盏灯确保均匀照明,而不论晶圆类型和尺寸如何。VARIAN VIISion 80的精密监控设备不断跟踪植入过程和状态,使用户能够根据所提供的信息进行更改。该系统还能够提供广泛的报告和图表，以提供对植入过程的详细分析和审查。作为监控包的一部分，该单元先进的离子计数器实时提供准确数量的植入离子，让用户消除猜测和人工计算。总体而言,VIISion 80是一种出色的离子植入器和监视器,它包含许多高级功能,使用户能够以大大减少的工艺时间和成本获得精确和准确的结果。它的直观界面允许任何级别的专业知识的用户快速获得离子植入和设置的手柄，让经验丰富的受赠人员及时做出必要的调整。使其成为大型工业半导体应用的理想选择。
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