二手 VARIAN VIISion 80 #9257909 待售

VARIAN VIISion 80是一种三轴离子植入器和监控设备，设计用于半导体制造中的自动植入过程。它是一个强大的系统，具有现场监测传感器，用于过度剂量保护和深度控制监测。它设计用于超高剂量，可用于中低电压植入。VIISion 80具有三轴运动控制单元，最大速度为60 m/min，确保大型烤箱的快速植入时间。该机还具有设计用于中低电压植入的大功率两束植入器。电场线由于先进的电场分布和对准设计而最小化，这使得精度更高，剂量不均匀性降低。VARIAN VIISion 80包括业界领先的传感器和显示器,用于能力验证、剂量控制和工具监控。超剂量保护资产（ODPS）检测光子剂量的差异，防止高剂量植入过程中的过剂量。此外，该模型还具有对光束线的剂量、能量、角度和时间进行精确数字控制的原位监测器，以最大限度地提高植入物的均匀性和剂量均匀性。VIISion 80还具有灵活性和可扩展性,允许集成其他技术组件和植入过程的更改,而无需进行重大的控制修改或重新设计。这使得今后能够进行升级和适应，以促进不断变化的技术。VARIAN VIISion 80具有自适应电子枪控制,可优化光束线性能和均匀剂量.该设备还可以针对不同的植入要求进行配置，包括光束控制和真空优化。最后,系统采用用户定义的参数进行精密设计,并根据客户的特定需求进行设计。总体而言，VIISion 80是一个三轴离子植入器和监控单元，旨在优化植入过程。它具有高功率双光束植入器、超剂量保护机、原位监视器以及适应未来升级的能力。该工具专门设计用于过程控制、剂量控制以及快速可靠的植入过程的准确性。