二手 VARIAN VIISta 3000XP #293820368 待售

VARIAN VIISta 3000XP
ID: 293820368
High current implanters.
VARIAN VIISta 3000XP是为半导体制造业设计的最先进的离子植入器和监控设备。它被设计用于将离子高精度、高通量地注入固体靶标,如晶圆、薄膜材料和其他基材。VIISta 3000XP利用离子束技术提供高度精确的植入速率,可以通过受控剂量和精确能量比进行调节。它配备了一个三轴级,用于精确快速的目标定位,可以根据应用范围从近束电流到远束电流。此外,该系统非常用户友好,具有直观的图形用户界面(GUI)和自动操作。VARIAN VIISta 3000XP由微处理器控制的源供电,最多可管理五个可编程输入和输出通道,用于污染和运行结束任务。此功能可确保敏感电子元件和一致的高质量产品周围的污染水平低。此外,该设备还包括一个获得专利的自补偿性离子束扫描仪,该扫描仪可在运行期间监视光斑大小的变化,并提供光斑稳定性的实时反馈。VIISta 3000XP及其双阳极技术(DAT)平台是实时监测氯化物和砷物种的理想设备。这个先进的平台具有高端信噪比和广泛的动态范围,允许精确的测量。它还包括辐射安全和质量控制的位置监测机。总体而言,VARIAN VIISta 3000XP是一种可靠、高效且精确的离子植入器和监控工具,非常适合半导体制造。VIISta 3000XP具有高精度、用户友好的界面和双阳极技术平台,非常适合任何植入作业。
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