二手 VARIAN VIISta 80 #9262465 待售

VARIAN VIISta 80是一款先进的离子植入器和监控设备，旨在服务于多个行业，包括微电子和半导体行业。该系统始终以经济高效的方式产生高度均匀和可靠的离子植入。VIISta 80具有一个四轴、高分辨率的运动控制单元，用于对离子源和底物进行精确和精确的操作。这允许在广泛的能量范围之间进行场变化，并允许每个植入物根据特定材料的特殊需要进行定制。例如，低能量植入物非常适合植入4H-SiC，而高能量植入物对半导体有用。VARIAN VIISta 80的离子源是使用Ar/O2或Xe/O2化学的双阳极机，可以运行到60kHz，提供非常快的吞吐量。该工具的特点是直流电源可以偏向于所需的植入物能量-任何能量都可以达到两千伏。此外,VIISta 80还具有高精度光束调制功能,使植入物能够以优异的精度调整到基板的尺寸。VARIAN VIISta 80还配备了流程监控系统，有助于确保植入物的准确性和可重复性。这些包括实时粒子计数、实时物种分析、电脑化控制范围结束剂量以及实时跟踪范围结束剂量。此外,该资产还设计用于执行完整的流程审核和诊断报告,以便能够快速轻松地进行任何必要的更正。总体而言，VIISta 80是一种先进的离子植入器和监视器模型，以经济高效的方式始终如一地提供准确、均匀和可靠的植入物。通过在监控系统中利用最新技术，VARIAN VIISta 80在从一般半导体制造到航空航天和汽车零件的广泛应用中安全可靠地运行。