二手 VARIAN VIISta 810 HP #9051773 待售
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ID: 9051773
优质的: 2003
Ion implanter
Wafer Shape SNNF (Semi Notch No Flat)
Wafer Cassette 8" Plastic Miraial
SMIF Interface NO
Power Distribution 208V 60Hz 75KVA 3phase Y-connection
Control System 1GHz Computer
Software Version Number V810hp 06 71 38
Gasbox1 Ar HP external supply
Gasbox2 N/A (SDS)
Gasbox3 ASH3 SDS
Gasbox4 PH3 SDS
Gasbox5 BF3 HP
(6) Cryo pump CTI CT-250F
(3) Cryo Compressor CTI 9600
(2) Ebara A10S Roughing Pumps
(1) Varian triscroll300 Roughing Pump
TMP Edwards STPH301C
TMP2 Edwards STPH803C
TMP3 varian HT-300
TMP4 varian HT-300
Ion Source Dual Filament Bernas type
Dual Vaporizer Nothing
Beam Reducer Nothing
Platen E-CLAMP
Beam Energy:
5-250keV (Signle charged Ion)
250-500keV (Double charged Ion)
500-750keV (Triple charged Ion)
Auto Accel/Decel mode
208 V, 50/60 Hz, 3-Ph, 5-Wires, 35 kVA, 97 FLA
2003 vintage.
VARIAN VIISta 810 HP是一种高性能离子植入器和显示器，用于各种过程控制和机器工程应用。它是一种先进的设备，设计用于精确监测和控制与离子注入有关的各种过程。它使制造商能够保持最高的效率和准确性，确保达到期望的效果，而无需牺牲质量或数量。VARIAN VIISTA 810HP是一种高效可靠的离子植入工具，使用户可以轻松控制各种参数，如植入剂量、光束光斑大小和能量设置。它还具有高级功能,包括使用多进程和内存预设的快速预编程、实时电流容量监控以及可重复结果的过程自动化。VIISta 810 HP还以灵活性和鲁棒性着称，使其能够被用于多种多样的应用，包括多种材料的植入和各种底物的纯化。VIISTA 810HP还具有出色的光束控制和设备监控功能,使用户能够确保优化操作。光束控制允许精确的植入参数，而系统监控能力则提供植入速率、光束角度、电压、电流等一系列数据。这一综合单元还包括多种安全功能，使用户能够确保最大限度的安全和可靠性。VARIAN VIISta 810 HP是一款高度先进的离子植入器和监视器,提供最高水平的准确性、速度、灵活性和安全性。它专为广泛的机器工程和过程控制应用而设计，在任何操作中都能提供可靠的结果。它具有多种过程分辨率、高效的监控和先进的机器控制功能,使其成为任何环境下的理想解决方桉。
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