二手 VARIAN VIISta 810 HP #9093342 待售

VARIAN VIISta 810 HP是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.开发的高性能离子植入器和监控设备。该机器的设计满足了最先进的半导体制造工艺的要求，在离子的植入过程中具有更高的精度和性能。该系统采用溷合结构，结合了高压直流电离子源装置和集成晶圆重构装置。重构器有助于确保植入离子的恒定质量，并允许精确控制植入晶圆的离子剂量。离子源装置还包括源和植入物区域的屏蔽，允许可靠、安全的操作。VARIAN VIISTA 810HP有一个大的、易于阅读的数字显示屏，提供基本信息，包括植入物剂量和种类、压力、操作参数和单位状态。它还具有自动校准功能，有助于优化植入精度，并确保不断监测晶圆中离子的分布，并保持在指定的公差范围内。该机包括高效离子束发生器、基板支撑的直流离子源、高压、强大的离子束源等多种离子源。光束源可以显着提高精度和分辨率,以及比以前更高的剂量和更低的光束损耗。该工具还具有一套功能强大的资产级别诊断工具。其中包括允许分析和显示多个光束光学参数的集成光束光学数据模型,以及用于识别和隔离系统操作故障的故障检测和隔离（FDI）设备。诊断结果存储在安全的数字存储器中,以供将来参考,并为机器维护和开发提供有价值的数据。VIISta 810 HP是市场上最先进的离子植入解决方桉之一，提供了精度、性能和安全性的组合。通过帮助确保一致、高质量的植入，它有助于最大限度地提高产量和降低成本。它体积小巧，高度可靠和坚固，是现代半导体制造工艺的理想选择。